基本情報

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唐橋 一浩

KARAHASHI Kazuhiro


所属組織 【 表示 / 非表示

  • 2006年11月01日 ~ 2007年03月31日,工学研究科 附属原子分子イオン制御理工学センター,特任助手(常勤),専任

  • 2007年04月01日 ~ 2013年03月31日,工学研究科 附属原子分子イオン制御理工学センター,特任助教(常勤),専任

  • 2013年04月01日 ~ 2013年04月15日,工学研究科 附属アトミックデザイン研究センター,特任助教(常勤),専任

  • 2013年04月16日 ~ 2015年03月31日,工学研究科 附属アトミックデザイン研究センター,特任助教(常勤),専任

  • 2015年10月01日 ~ 2016年03月31日,工学研究科 附属アトミックデザイン研究センター,特任准教授,専任

  • 2016年04月01日 ~ 継続中,工学研究科 附属アトミックデザイン研究センター,特任教授(常勤),専任

 

論文 【 表示 / 非表示

  • Numerical simulation of atomic-layer oxidation of silicon by oxygen gas cluster beams,Kohei Mizotani, Michiro Isobe, Kazuhiro Karahashi, and Satoshi Hamaguchi,Plasma and Fusion Research ,2015年09月,学術論文

  • Suboxide/subnitride formation on Ta masks during magnetic material etching by reactive plasmas,Hu Li, Yu Muraki, Kazuhiro Karahashi, and Satoshi Hamaguchi,2015年04月,学術論文

特許・実用新案・意匠 【 表示 / 非表示

  • 日本,エッチング方法および装置,唐橋一浩、浜口智志、瀬木利夫、松尾二郎、木下啓蔵、溝谷浩平,特願2014-41240(出願),2014年03月